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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用
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    KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

    伯东公司 KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用

    常见蒸镀机台与对应 KRI 霍尔离子源型号:

    蒸镀机台尺寸

    KRI 离子源

    ~1100mm

    eH1010

    1100~1400mm

    eH1010, eH1020

    1400~1900mm

    eH1020, eH3000


    离子源


    KRI 考夫曼霍尔离子源 controller 自动化控制及联机自动化设计,提供使用者在操作上更是便利。

    离子源


    KRI 考夫曼霍尔离子源 Gun body 模块化之设计、提供使用者在于基本保养中能够降低成本及便利性。

    离子源


    伯东公司客户 1400 mm 蒸镀镀膜机安装 KRI考夫曼霍尔离子源 EH1020 F,应用于塑料光学镀膜

    离子源
    离子源

    离子源


    KRI 考夫曼霍尔离子源 EH1020 主要参数:

    Filament Controller

    Discharge controller

    Gas controller

    17.2A/ 22V

    150V/ 4.85A

    Ar/ 32sccm

    离子源


    利用 KRI 考夫曼霍尔离子源辅助镀膜及无离子源辅助镀膜对镀膜质量之比较:

     

    KRI EH1020 辅助镀膜

    无 Ion Source 辅助镀膜

    盐水煮沸脱膜测试

    破坏性百格脱膜测试

    光学折射设率

    膜层致密性

    膜层光学吸收率

    制程腔体加热温度

    生产成本

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     






    KRI 考夫曼霍尔离子源系列主要型号包含:

     

    离子源 eH200

     离子源 eH400

    离子源 eH1010

    离子源 eH1020

    离子源 eH3000

    Cathode

    Filament or Hollow cathode

    Filament or Hollow cathode

    Filament or Hollow cathode

    Filament or Hollow cathode

    Hollow cathode

    Water Cooled Anode

    no

    no

    no

    yes

    no

    Discharge Currentmax

    2 A

    3.5 (7) A

    10 (7) A

    10 (20) A

    20 (10) A

    Discharge  Voltagemax

    300 V

    300 (150) V

    300 (150 ) V

    300 (150) V

    250 (300) V

    Discharge  Voltagemin

    40* V

    40* V

    40* V

    40* V

    40* V

    Divergence (hmhw)

    45°

    45°

    45°

    45°

    45°

    Height (nominal)

    2.0”

    3.0”

    4.0”

    4.0”

    6.0”

    Diameter (nominal)

    2.5”

    3.7”

    5.7”

    5.7”

    9.7”

     

    伯东公司主要经营产品德国 Pfeiffer涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管);氦质谱检漏仪质谱分析仪;真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机美国KRI Kaufman 考夫曼离子源(离子枪)

     

    若您需要进一步的了解详细信息,请与我们联系:

    TEL: 86 (021) 50463511转106

    FAX: 86 (021) 50461490

    Email: ec@www.taogust.com

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